Termal Evaporatör Sistemi Optosense OPT-2THR-EVP
Termal Evaporatör Sistemi, yüksek performanslı vakum teknolojisi ile güvenli ve verimli bir kullanım sunar. Organik ve metalik malzemelerin buharlaştırılmasında mükemmel sonuçlar elde edilmektedir. Gelişmiş sıcaklık kontrolü ve hızlı vakum özellikleri ile endüstriyel süreçlerde yüksek doğruluk sağlar.
Termal Evaporatör Sistemi Optosense OPT-2THR-EVP, yüksek verimli vakumlama ve ince film kaplama teknolojileri için geliştirilmiş son derece güvenilir bir çözümdür. Aynı zamanda Nano ölçekte tek katmanlı ve çok katmanlı filmler üretmek için ideal bir sistemdir. Bununla beraber metaller, alaşımlar, yarı iletkenler ve seramik filmler gibi bir dizi materyalin kaplanmasında kullanılmaktadır. Ayrıca yüksek kaliteli malzemelerle üretilen bu sistem, çeşitli endüstriyel uygulamalara uyum sağlar.
Termal Evaporatör Sistemi Öne Çıkan Özellikler
- Yüksek Vakum Sistemi: Sistem, 600L/s turbo moleküler pompa ve 9L/s mekanik pompa ile donatılmıştır. Bu, hızlı vakum oluşturma ve yüksek temizlikte film kaplama sağlar.
- Çift Hedefli Magnetron Sputtering: İki set yüksek performanslı daimi mıknatıs magnetron sputtering hedefi ile metal, alaşım, seramik ve dielektrik filmler üretilebilmektedir. RF, DC ve MF ile uyumlu çalışabilmektedir.
- Sıcaklık Kontrolü: Substrat 600°C’ye kadar ısıtılabilmektedir. Ayrıca sıcaklık, termokupl kapalı döngü geri besleme ile kontrol edilmektedir.
- Yüksek Hassasiyetli Film Kalınlık Ölçümü: Quartz kristal osilatör film kalınlık monitörü, 1Å hassasiyetle film kalınlığını izler ve kontrol eder.
Termal Evaporatör Sistemi Bileşenleri ve Performans Özellikleri
- Vakum Odası: Paslanmaz çelikten üretilmiş, üstten açılabilen D şeklindeki vakum odası, hedef malzeme değişimi ve örnek yüklemesi için kolaylık sağlar. Bu sayede 6×10^-5 Pa’ya kadar vakum seviyelerine ulaşabilmektedir.
- Rotasyonlu Substrat Masası: 4 inçlik örnekler üzerinde düzgün kaplama sağlar. Böylelikle Substrat, 0-30 rpm arasında ayarlanabilmekte olan hızla dönebilmektedir.
- Gaz Akış Kontrolü: Argon, oksijen ve azot gazları, hassas bir şekilde ayarlanabilmektedir. Böylece kaplama sürecinin güvenilirliği artar.
- Elektrik Koruma ve Güvenlik: Sistem, ani elektrik kesintilerine karşı korunmak için bir kontrol ünitesine ve koruma sigortalarına sahiptir.
Termal Evaporatör Sistemi Optosense OPT-2THR-EVP Teknik Özellikler
- Vakum Seviyesi: 6×10^-5 Pa’ya kadar ulaşabilen vakum seviyesi, temiz film kaplama için idealdir.
- Hedef Sputtering: Hedefler su ile soğutulabilmektedir. Bu sayede uzun süreli ve yüksek performanslı çalışmayı garanti eder.
- Sıcaklık Aralığı: 20°C ila 600°C arasında ayarlanabilmekte olan sıcaklık aralığı ile esneklik sağlar.
