OPT-MGN-2RF Magnetron Sputter Kaplama Sistemi Optosense
OPT-MGN-2RF Magnetron Sputter Kaplama Sistemi, yüksek vakumlu, çift hedefli magnetron teknolojisiyle geniş malzeme yelpazesinde yüksek kaliteli kaplamalar üretir. Gelişmiş vakum ve sıcaklık kontrol sistemleri, verimlilik ve güvenilirlik sağlar.
Optosense tarafından üretilen OPT-MGN-2RF Magnetron Sputter Kaplama Sistemi, yüksek vakumlu, çok fonksiyonlu bir çift hedef magnetron sputter kaplama cihazıdır. Nano ölçekli tek katmanlı ve çok katmanlı fonksiyonel filmler ile kompozit filmler geliştirmek için idealdir. Bu sistem, metaller, alaşımlar, yarı iletkenler ve seramik filmler gibi çeşitli kaplama uygulamaları için uygundur.
Magnetron Sputter Kaplama Sistemi Özellikleri
- Vakum Performansı: OPT-MGN-2RF, vakum odasında ≤6×10-5 Pa’ya kadar ulaşan yüksek vakum seviyelerini sağlayabilmektedir. Bu, FF150/700 moleküler pompa ve yüksek kaliteli mekanik pompa kullanılarak sağlanır.
- Çift Hedef Yapısı: İki adet 60mm çapında yüksek performanslı kalıcı mıknatıs magnetron hedefi ile donatılmıştır. Bu hedefler bağımsız, sırasıyla ya da birlikte çalışabilmektedir.
- Hedef Soğutma Sistemi: Hedefler su ile soğutulmakta ve cihazın uzun süreli kullanımını güvence altına almaktadır.
- Sıcaklık: Numune ısıtma cihazı, ısıtma sıcaklığını oda sıcaklığından 600°C’ye kadar ayarlayabilmektedir. Böylece, termokupl kapalı döngü geri bildirim sistemi ile hassas bir şekilde kontrol edilebilmektedir.
- Vakum Sızıntı Tespiti: Vakum odası sızıntı testi ≤5.0×10-7Pa.l/S sızıntı hızına sahiptir. Böylelikle OPT-MGN-2RF’ in yüksek temizlikte kaplama yapabilmesini sağlar.
- Dönme Özelliği: Numune tablası, 4 inç boyutundaki numunelerin eşit bir şekilde kaplanmasını sağlamak için dönebilmektedir. Aynı zamanda Numune tablası da 0-30 rpm arasında sürekli ayarlanabilir hızda dönebilir.
OPT-MGN-2RF Sistem Bileşenleri ve Kullanım Kolaylığı
- Kapsamlı Kontrol Sistemi: Sputter Kaplama Sistemi tam otomatik uyumlu RF güç kaynağı, 300W gücündedir. Bu sayede cihazın güvenilirliğini arttırır.
- Tablo Yapısı: Hedefler ve numune tablası esnek yapıları sayesinde farklı uygulamalar için kolayca ayarlanabilmektedir.
- Kolay Temizlik: Vakum odası, anti-kirlenme astarı ile donatılmıştır. Böylece odanın temizliği daha hızlı ve pratik hale gelir.
OPT-MGN-2RF Magnetron Sputter Kaplama Sistemi, kullanıcı dostu tasarımı ve üstün kaplama teknolojisine sahiptir. Böylelikle endüstriyel uygulamalarda yüksek kaliteli filmler üretmek isteyenler için ideal bir tercihtir.
