Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi OPT-180G-1T-A

Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi, malzemelerin yüzeyine ince ve homojen bir şekilde kaplama uygulamak için kullanılan gelişmiş bir teknolojidir. Bu süreçte, bir vakum odasında bulunan bir hedef malzeme (genellikle bir metal) üzerine yüksek enerjili iyonlar bombardıman yapılır. Bu iyonlar, hedef malzemeden atomlar çıkarmak suretiyle malzeme yüzeyini etkiler. Aynı anda, bir mıknatıs alanı kullanılarak elektronlar, malzeme yüzeyinden çıkartılan atomları hedef malzemeye geri yansıtarak bir plazma oluşturur.

Bu plazma içindeki yüklü parçacıklar, malzeme yüzeyinden kopan atomları hedefe çeker ve biriktirir. Bu süreç sonucunda, malzemenin yüzeyine ince bir katman oluşturulmaktadır. Magnetron sputtering kaplama, endüstriyel uygulamalarda, elektronik cihazlarda, optoelektronik alanlarda kullanılmaktadır. Ayrıca malzeme biliminde geniş bir kullanım alanına sahiptir. Kaplama kalitesi, yüksek verimlilik ve çeşitli malzemelerin kullanılabilmesi, böylece bu teknolojiyi malzeme mühendisliği ve üretim süreçlerinde önemli kılmaktadır.

Magnetron Sputtering Kaplama Sistemi OPT-180G-1T-A Teknik Özellikleri

1. Püskürtme güç kaynağı: DC güç kaynağı 300W; maksimum çıktı voltaj 600V, limit çıkış akımı 500mA
2. Magnetron hedefi: Manyetik bağlantıya sahip 2 inçlik dengeli hedef saptırma ayrıca;
3. Uygulanabilir hedef: φ50mm x 3mm kalınlık ayrıca,
4. Oda boyutu: φ180mm x 200mm;
5. Oda malzemesi: yüksek saflıkta kuvars ayrıca,
6. Dönen ısıtma numunesi tablosu: Hız sürekli olarak ayarlanabilir 1’den 20 rpm’ye kadar; magnetron’dan hedefe olan mesafe: 60-100mm
7. Soğutma yöntemi: Magnetron hedefi ve moleküler pompa ihtiyacı dolaşan su soğutması;
8. Su soğutucu: su deposu hacmi 9L, akış hızı 10L/dak
9. Gaz besleme sistemi: kütle akış ölçer, gaz tipi Ar gazı, akış hızı 1~30sccm (özelleştirilebilir);
10. Akış ölçer doğruluğu: ±%1,5 aralık ayrıca,
11. Vakum odasının hava çıkarma arayüzü KF25’tir;
12. Hava giriş arayüzü 1/4 inçlik çift halkalı bir bağlantıdır;
13. Ekran 7 inç renkli dokunmatik ekrandır;
14. Püskürtme akımı ayarlanabilir ve püskürtme güvenlidir mevcut değer ve güvenli vakum değeri ayarlanabilir;
15. Güvenlik koruması: püskürtme akımını otomatik olarak keser aşırı akım ve vakum çok düşük olduğunda ayrıca;
16. Nihai vakum: 5E-4Pa (moleküler pompalı) ayrıca;
17. Vakum ölçümü bir direnç ölçer vakum ölçerdir ve aralığı: 1~105Pa

Benzer ürünlere buradan ulaşabilirsiniz. Ayrıca tüm ürünleri de buradan inceleyebilirsiniz.