KLA – Zeta 20 Optik Profilometre
KLA – Zeta 20 Optik Profilometre, yüksek hassasiyetle 3D yüzey ölçümleri yapar. ZDot teknolojisi ve Multi-Mode optikleriyle, şeffaf ve opak yüzeylerde adım yüksekliği, pürüzlülük ve film kalınlığını ölçer. Ayrıca, otomatik defekt incelemesi ve geniş alan ölçüm özellikleriyle üretim süreçlerinde de etkili bir çözüm sunar.
KLA – Zeta 20 Optik Profilometre, yüzey topografyasını ölçmek için geliştirilmiş, yüksek çözünürlüklü, non-kontakt bir 3D mikroskoptur. Zeta 20, ZDot teknolojisi ve Multi-Mode optikleri sayesinde geniş bir uygulama yelpazesinde kullanıma olanak sağlar. Ayrıca bu cihaz, hem şeffaf hem de opak örneklerde, düşük ve yüksek yansıma yüzeylerinde, pürüzlü ve düzgün yüzeylerde ölçüm yapabilme kapasitesine sahiptir. Aynı zamanda nanometreden milimetreye kadar adım yüksekliklerini başarıyla ölçebilmektedir.
KLA – Zeta 20 Optik Profilometre Özellikleri
KLA – Zeta 20, altı farklı optik metrologi teknolojisini bir araya getirerek çok çeşitli ölçüm uygulamaları için ideal bir çözüm sunar. Böylece bu özellikler, her türlü yüzeyin detaylı analizi için geniş imkanlar tanır.
- ZDot Teknolojisi: Yüksek çözünürlükte 3D tarama ve doğru renkli sonsuz odaklı görüntülerin eşzamanlı olarak alınmasını sağlar.
- Zeta Faz ve Dikey Tarama Interferometri: Nanometre hassasiyetinde geniş alan ölçümleri yapabilme özelliği sunar.
- Nomarski Kontrast Mikroskobu: Çok ince yüzey detaylarını görselleştirmek ve aynı zamanda analiz etmek için idealdir.
- Shearing Interferometri (ZSI): Yüksek Z çözünürlüğü ile yüzey topografyasını ölçer.
- Filmlerin Kalınlık Ölçümü: ZDot ve entegre broadband reflektometre ile şeffaf filmlerinin kalınlığı ölçülmektedir.
Gelişmiş Uygulamalar
Zeta 20 Optik Profilometre, çok çeşitli endüstrilerde ve uygulamalarda kullanılmaktadır. Ayrıca bu cihazın sunduğu esneklik sayesinde, üretim süreçlerinin her aşamasında yüksek hassasiyetle ölçümler yapılabilmektedir.
1. Adım Yüksekliği Ölçümü
Nanometreden milimetreye kadar 3D adım yüksekliği ölçümü yapılabilmektedir. Böylelikle Zeta 20 Optik Profilometre, ZDot ve Multi-Mode optikleri ile her türlü yüzeyde hassas adım ölçümleri sağlar.
2. Yüzey Pürüzlülüğü ve Dalgalanma
Çok pürüzlü yüzeylerden çok ince yüzeylere kadar her tür yüzeyin pürüzlülük ve dalgalanma ölçümü yapılabilmektedir. Ayrıca ZSI ve interferometri teknikleri ile pürüzsüz yüzeyler angstrom seviyesinde analiz edilebilmektedir.
3. Film Kalınlığı Ölçümü
Şeffaf filmlerin kalınlıkları, 30nm ile 100µm arasında ZDot ya da ZFT teknolojisi ile ölçülür. Özellikle güneş hücreleri ve yarı iletken uygulamaları için oldukça faydalıdır.
4. Otomatik Defekt İncelemesi
KLA – Zeta 20 Optik Profilometre, otomatik optik inceleme (AOI) yapabilme özelliğine sahiptir. Ayrıca örneklerdeki farklı defekt türlerini hızla tespit eder ve harita üzerinde gösterir.
Endüstriyel Uygulama Alanları
- Güneş Enerjisi: Fotovoltaik hücrelerin yüzey yapıları ve aynı zamanda film kalınlıkları ölçülür.
- Yarı İletkenler ve Bileşik Yarı İletkenler: WLCSP ve FOWLP paketleme gereksinimlerini karşılar.
- Baskılı Devre Kartları (PCB): Yüksek yansıma film yüzeylerinin yanı sıra, PCB’lerdeki ince detaylar da hassasiyetle ölçülür.
- Medikal Cihazlar ve Mikroakışkan Sistemler: Yüksek hassasiyetle mikro ölçümler yapılmaktadır.
KLA – Zeta 20 Optik Profilometre, sadece araştırma ve geliştirme değil, üretim ortamlarında da kullanıma uygundur. Böylelikle Zeta 20 ile her türlü yüzey ölçüm ihtiyacınızı güvenle karşılayabilirsiniz.
