AW410-610-810 RTA
AW610 RTA, GaAs, InP, GaN, SiC gibi bileşik malzemelerin işlenmesi için üretilen bir cihazdır. Hassas sıcaklık kontrolü, 6 gaz hattı desteği ve PowerSum fonksiyonu sayesinde verimli haldedir. Ayrıca güvenilir sonuçlar elde edilmektedir.
AW610 RTA, yüksek performansı ve güvenilirliğiyle bilinen, masaüstü atmosferik ortamda çalışan bir RTA (Rapid Thermal Annealing) cihazıdır. Endüstriyel uygulamalarda, özellikle GaAs, InP, GaN, GaInP, SiC gibi değerli bileşik malzemelerin işlenmesinde tercih edilmektedir. AW610 RTA, RTP, RTO ve RTN süreçleri için mükemmel bir çözüm sunar.
Esnek Wafer Boyutlarıyla Uyumlu Çözüm
- AW610 RTA, 2 ila 4 inç ya da 3 ila 6 inç boyutlarındaki silikon waferlarla uyumludur. Cihaz, 3″, 4″ ve **6″ susceptor veya wafer taşıyıcıları kullanarak küçük örnekler veya ince film kaplamalı waferlar için de ideal bir çözümdür. GaAs, InP, GaN, SiC, GaInP gibi bileşik malzemeler ile işlemler, bu cihazla yüksek verimlilikle yapılabilir.
Hassas Sıcaklık Kontrolü ile Üstün Performans
- AW610 RTA, Allwin21 kontrol sistemiyle donatılmıştır. Bu sistem, PID teknolojisi ve Fuzzy Logic Learn özellikleri sayesinde anlık sıcaklık kontrolü sağlar. Aynı zamanda cihaz, 0.1 milisaniyelik tepki süresiyle işlem sırasında yüksek doğruluk ve hızlı tepki sunar. 150-840°C arasında K tipi termokupl ve 400-1250°C arası ERP pyrometre kullanılarak sıcaklık hassasiyetle kontrol edilmektedir. Tipik işlem sıcaklıkları; 400-600°C alaşım tavlama, 700-950°C bileşik malzeme tavlama ve 1000-1050°C implant tavlama işlemleri için uygundur.
Verimli Isıtma Teknolojisi
- AW610 RTA, 6 bölmeli ısıtma lambası kullanır ve ayrıca her biri 1.2 kW gücünde 21 adet radiasyon ısıtma lambası içerir. 2400 saat süreyle verimli bir şekilde çalışan bu lambalar, işlemler sırasında güvenilir ısıtma sağlar. Ayrıca, SSR kontrolü kullanılarak geleneksel TRIAC kontrolü yerine daha hızlı ve verimli bir ısıtma sağlanır. Bu, işlem süresinin daha tutarlı ve verimli bir şekilde yönetilmesine olanak tanır.
Gaz Hatları ve Esneklik
- AW610 RTA, 6 farklı gaz hattı bağlantısı sunar. Azot (N2), oksijen (O2), argon (Ar), helyum (He) gibi gazlar yaygın olarak kullanılırken, Forming gazları, NH3 ve N2O2 gibi gazlar da desteklenir. Bu çoklu gaz seçenekleri, cihazın çeşitli işlem gereksinimlerine uygun hale gelmesini sağlar.
Dayanıklı Tasarım ve Yüksek Verimlilik
- AW610 RTA, soğuk duvar tasarımı ve altın kaplama serpiştirme teknolojisiyle üretilmiştir. Bu tasarım, cihazın uzun ömürlü olmasına ve yüksek ısı verimliliği sağlamasına yardımcı olur. PowerSum fonksiyonu, değerli bileşik malzeme waferlarını korur, böylece işlem sırasında malzeme kaybı minimuma indirilmektedir.
Kolay Kurulum ve Kullanıcı Desteği
- Müşteri kurulum tasarımıyla gelir ve kurulum işlemi oldukça kolaydır. Ayrıca yerel mühendis desteği ile kurulum yapılabilir. Bu sayede, cihaz kısa süre içinde çalışmaya hazır hale gelir. Ayrıca, kullanıcı dostu arayüzü sayesinde işlem kontrolü basit ve etkilidir.
