Optik Profilometre ve Film Kalınlık Ölçüm Sistemleri,
İnce film kalınlık ve reflektans ölçüm sistemleri olarak da tanımlanır. İnce filmlerin kaplama kalınlıklarının (tek ya da çok katmanlı kaplamalar) ölçülmesinde kullanım sağlar. Böylece ışığı yansıtma özelliklerinin belirlenmesinde başvurulan sistemlerdir.
Başta MEMS, yarı iletken, ince film, OLED, LED, mikroakışkanlar, fotorezist, solar uygulamalar, silikon waferlar, membranlar, ITO, cam ve optalmik kaplamalar olmak üzere daha bir çok ürün ile alakalı uygulamalarda yüzey karakterizasyonunun yapılmasına olanak sağlayan sistemler laboratuvar ve endüstri ölçekli çözümler sunmaktadır.
Firmamızın tek yetkili temsilcisi olduğu FILMETRICS;
Kalınlık, reflektans ve transmitans ölçüm sistemleri, tek ve çok katmanlı ince filmlerde modelleme yöntemi ile kalınlık tayini yapar. Bunun yanı sıra yansıma (reflektans) ve geçirgenlik (transmitans) ölçümlerini gerçekleştirir.
Nanometre mertebesinde kalınlık ölçümleri yapabilen FILMETRICS sistemleri geniş dalga boyu aralığına (350-2000nm) sahiptir. Farklı yapıda malzemelerin tek bir sistemle karakterizasyonunun yapılmasına imkan sağlar.
Bunun yanı sıra öne çıkan üç boyutlu optik profilometre sistemi Profilm3D ile ince filmlerin kalınlık ölçümlerinde yer alır. İnterferometrik objektif ve hareketli numune tablası ile yüzey topografyasını kullanıcıya sunarak kalınlık ölçümlerinin yapılmasını sağlar.
FILMETRICS ülkemizde başta TÜBİTAK olmak üzere bir çok seçkin araştırma laboratuvarını referans listesinde yer verir. Optik Profilometre ve Film Kalınlık Ölçüm Sistemleri ürünleri tek yetkili satıcısı konumunda olan firmamız üzerinden sipariş edilebilmektedir.
İnce Film Kalınlık Ölçüm Sistemi genellikle optik ölçüm prensiplerine dayanır. İnce filmin kalınlığını hassas bir şekilde belirler. Yüzey üzerine inci bir ışık veya radyasyon kaynağı gönderir. Bu sistemlerin çalışma prensibi, farklı teknolojilere göre değişebilir. Ancak en yaygın kullanılan prensipler arasında şunlar vardır:
Işıma (Elipsometri): Elipsometri ince film kalınlığını ve yüzey özelliklerini ölçer. Bu süreçte optik polarizasyonunun değişikliklerini kullanır. Sistem, özel bir ışık kaynağından inci bir ışık demeti kullanır. Işık, ince filme çarptığında yüzeyde yansır ve polarizasyon durumu değişir. Değişen polarizasyon durumu, ince filmin kalınlığını ve optik özelliklerini hesaplamak için görev alır.
Spektrofotometri: Spektrofotometri ince filmin yüzeyine gönderilen ışığın yansıması veya geçişi üzerinden çalışır. Işık kaynağı, farklı dalga boylarında ışık üreten bir spektrometre kullanır. Işık, ince filmin yüzeyine çarparken bir kısmı yansır veya geçer. Spektrometre, yansıyan veya geçen ışığın spektrumunu ölçer. Bu spektrumlar, ince filmin kalınlığını ve optik özelliklerini belirlemek için analiz içindedir.
Interferometri: Interferometri ince filmin kalınlığını ölçmek için ışığın yüzeyden yansımasını sağlar. Farklı dalga boylarında oluşturulan interferans desenlerini kullanır. Interferometrik sistemler, yansıyan ışık dalgalarının faz değişikliklerini ölçerler ve bu değişiklikler ince film kalınlığını hesaplamak için uygulanır.
Ultrasonik Ölçüm: Ultrasonik ince film kalınlık ölçümü, ses dalgalarının ince filme gönderilmesi ve yansıması veya geçişi üzerinden çalışır. Ses dalgalarının hızı, ince filmin kalınlığını belirlemek için kullanılır.
Bu prensiplerin her biri ince filmin kalınlığını farklı hassasiyetlerde ölçmek için önemli yer tutar. Örnekleme sistemine, film kalınlığını ölçmek istediğiniz malzemenin özelliklerine ve gereksinimlerinize bağlı olarak değişebilir. Sonuç olarak ince film kalınlık ölçüm sistemleri, yüzeylerin ve kaplamaların kalitesini ve özelliklerini kontrol etmek ve karakterize etmek için önemli bir araçtır.
