Magnetron Sputter Kaplama Sistemleri
Magnetron sputter kaplama sistemi, yüksek verimlilik ve hassasiyetle endüstriyel kaplama uygulamaları için ideal bir çözümdür. Bu teknoloji, geniş malzeme yelpazesinde metal, alaşım, seramik ve yarı iletken filmleri kaplamak için kullanılmaktadır. Kaplama sistemi, çok düşük vakum seviyelerinde bile stabil çalışarak, kaliteli ve homojen kaplamalar elde edilmesini sağlar.
Magnetron Sputter Kaplama Sistemlerinin Avantajları
- Yüksek Hassasiyet: Kaplama işlemleri yüksek doğrulukla yapılır.
- Geniş Malzeme Uygulama Alanı: Metallerden seramiklere kadar çeşitli malzemelerde kullanılabilmektedir.
- Uzun Süreli Performans: Magnetron sputter uzun ömürlü ve dayanıklı kaplamalar üretir.
- Düşük Vakum Performansı: Hızlı vakum sağlama yeteneği ile verimli işlem süreleri sunar.
Magnetron Sputter Opsiyonlar:
- 6 kaynağa kadar (RF ya da DC) yeni püskürtme kaynakları eklenebilmektedir.
- Opsiyonel adetlerde QCM bağlantıları yapılabilmektedir.
- Vakum haznesine opsiyonel yedek ya da kullanıma uygun portlar açılabilmektedir.
- Sputter sistemi talep edilen vakum mertebesine özel vakum pompaları ile donatılabilmektedir.
- Haznenin üste, yana ya da kaydırmalı kapı ile (glovebox’a özel) tasarımı değiştirilebilmektedir.
- Magnetron sputter kaplama sistemi, Termal Evaporatör sistemi ile birleştirilip PVD olarak sunulabilmektedir.
- Opsiyonel alttaş ısıtma sıcaklıkları ve döndürme hızları ile önerilebilmektedir.
